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機器視覺在半導體行業的光源應用
2021-12-17
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  機器視覺檢測早在二十年前已經于半導體工業上廣泛應用,半導體、電子設備檢測是機器視覺技術應用的發源地,同時也是機器視覺應用的一個巨大市場。半導體、電子制造業每一次技術上的突破如:晶圓越做越大,而內部線路越做越細,向超細間距式器件挺進;連接器體積越來越小,每分鐘生產線上需要檢測、測量器件的數量越來越多;都伴隨著新一輪半導體、電子生產檢測設備的誕生。隨之洐生更優的質量檢測系統需求,用于提升生產效率及良品率,進而促使機器視覺市場不斷發展壯大。機器視覺技術本身也隨著半導體、電子、光學、自動化等技術的發展而不斷完善、發展。

  機器視覺在半導體中有哪些應用呢?下面就由樂視自動化為大家介紹,半導體中常見的機器視覺應用案例。

  ※表面識別/可控性檢測
  ※測量/對位
  ※分類篩選


一、表面識別/可控性檢測

  在半導體行業中,為使產品具有可追溯性,所有的元件都有識別碼,通過識別碼可追溯相應的生產信息,機器視覺在檢測半導體表面字符、ID碼、二維碼、Mark點等方面發揮重要作用。
  當然對于表面并非只有識別內容,精度越高的產品,對于元件自身的缺陷容忍度越小。所以表面缺陷判斷也使得機器視覺在行業內不可缺少。


◆晶圓字符二維碼識別

樣品圖


(1)效果展示
(2)效果展示


使用光源:同軸光源

特點:

1、晶圓反光,同軸對反光平面成像均勻

2、亮度高,能兼容二維碼和字符多種特征
3、同軸光光路垂直性好,對表面檢測更具優勢


◆晶圓表面劃傷

樣品圖

效果展示


使用光源:環形光源

特點:

1、晶圓片表面缺陷方向多樣化,磨砂表面,環形低角度突顯出各個方向的缺陷;
2、高密度LED陣列,亮度高;
3、安裝方便,不占用視覺系統的空間。


二、測量/對位

在晶圓生產工藝的整個過程中,視覺定位發揮著至關重要的作用。因為測量/對位不準會損壞很多晶圓,因此表現不佳的視覺系統會大大增加半導體設備公司的生產成本。


◆晶元對位

樣品圖


效果展示


使用光源:組合光源

特點:

1、晶片具有高反光性,利用圓頂光的均勻性,凸顯定位特征點;

2、由于圓頂中間開孔有陰影,使用同軸補光,充分解決暗影區;
3、組合光均勻性好,結構架設方便。


◆相機芯片測量

樣品圖


效果展示


使用光源:高亮點光源

特點:

1、相機芯片特殊才是,利用利用垂直光,芯片輪廓清晰呈現;

2、高亮度、高均勻、高性價比好,照度可達到40-100萬LUX;

3、材質輕便,散熱性好。


三、分類篩選

  半導體在制造過程中要求高速、高效、精準,其中分類篩選是半導體制造眾多工序中都涉及到的重要環節。機器視覺在表面缺陷檢測、分類、正反篩選,無序抓取識別等應用中都發揮了重要的作用。


◆貼片電阻缺陷分類

樣品圖


(1)效果展示
(2)效果展示


使用光源:多角度環形光源

特點:

1、電阻小,缺陷位置不確定,使用多色能清晰呈現缺陷位置;   

2、響應速度快,亮度高,適應高速響應;  

3、結構設計緊湊,方便安裝。

今天的分享就到這里了,感謝支持,我們下期再見。